激光汽化切割过程中，利用的高能量高密度的激光束对工件进行加热，使温度上升，并且在很短的时间内让材质汽化成蒸汽，当这些蒸汽喷出的时候就会在材料上形成一道切口，这样就达成了切割效果。但是一般材料汽化的热很大，所以材料表面温度升至沸点温度的速度是如此之快，足以避免热传导造成的熔化，于是部分材料汽化成蒸汽消失，部分材料作为喷出物从切缝底部被辅助气体流吹走。此情况下需要非常高的激光功率。为了防止材料蒸气冷凝到割缝壁上，材料的厚度一定不要大大超过激光光束的直径。该加工因而只适合于应用在必须避免有熔化材料排除的情况下。激光汽化切割使用的材料一般有极薄金属材料和非金属材料。在激光切割厚板的情况下，最大切割速度反比于材料的气化温度。所需的激光功率密度要大于108W/cm2，并且取决于材料、切割深度和光束焦点位置。在板材厚度一定的情况下，假设有足够的激光功率，最大切割速度受到气体射流速度的限制。